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國際科技合作基地建設專項“高精度單片三軸集成MEMS陀螺聯(lián)合研發(fā)合作示范項目”取得重大進展
來源： 河北省科技廳
作者：南皮縣產(chǎn)學研科技成果轉化服務中心
日期：
2022-04-30
日前，中國電科十三所承擔的省科技廳國際科技合作基地建設專項“高精度單片三軸集成MEMS陀螺聯(lián)合研發(fā)合作示范項目”順利完成研發(fā)任務，研發(fā)的高精度單片式三軸MEMS陀螺達到國際領先水平，填補了國內空白，為我國單芯片三軸陀螺的進一步研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化應用奠定了堅實基礎。
該項目基于中國電科十三所已有的高精度單軸陀螺技術，與德國弗朗霍夫硅技術研究所開展高精度單片集成三軸陀螺的技術合作和聯(lián)合開發(fā)。在省科技廳國際科技合作基地建設專項支持下，項目組加快了單芯片三軸陀螺的研發(fā)進度，縮短了研發(fā)周期，通過兩年的國際合作和聯(lián)合開發(fā)，掌握了高精度三軸陀螺的仿真設計、單片式三軸陀螺的高精度加工工藝、三軸單片集成ASIC電路設計與仿真、MEMS陀螺三軸集成封裝等關鍵技術，實現(xiàn)了從單軸MEMS陀螺到單片集成三軸MEMS陀螺的技術突破，研制出國際領先水平的高精度單片式三軸MEMS陀螺，成功開發(fā)出國際先進水平的產(chǎn)品樣機。該研發(fā)成果有效降低了慣性產(chǎn)品體積、重量、功耗和成本，提升了市場核心競爭力。產(chǎn)品批量應用于平臺穩(wěn)定、姿態(tài)控制、自動駕駛等領域，滿足高端工業(yè)和國防應用等需求，推動了三軸陀螺的產(chǎn)業(yè)化進程?！ ?/span>
近年來，省科技廳認真貫徹落實省委、省政府工作部署，大力推進開放創(chuàng)新，于2019年專門設立國際科技合作基地建設專項，搭建合作平臺，深化國際科技合作，聚集創(chuàng)新資源。專項實施三年來，引導創(chuàng)新主體深入開展國際合作作用逐步顯現(xiàn)，為我省創(chuàng)新體系完善和創(chuàng)新能力提升提供了有效支撐。
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